• 西电芜湖研究院先进微电子器件研究中心试制线即将通线-威尼斯人网址

    发布日期:2022-10-31 09:57来源: 芜湖市产业创新中心浏览次数:

    西电芜湖研究院(以下简称“研究院”)碳化硅功率器件先进工艺研发中试线预计于2022年11月初正式通线,聚焦第三代半导体先进工艺研发,通线后将形成最大5000片/年的试制能力。

    西电芜湖研究院先进微电子器件研究中心拥有碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料和器件先进工艺研发试制线以及金刚石、氧化镓等新型超宽禁带半导体材料和器件的研发平台,产线总投资超2亿元中心拥有先进工艺设备50余台套,具备4-6英寸碳化硅、6-8英寸氮化镓外延材料生长到器件研制的全套工艺流程能力.可解决知识产权培育和转化、特殊工艺与特色产品定制、中试规模的芯片可靠性评价体系建设等当前产业面临的痛点。

    碳化硅功率器件先进工艺研发中试线项目的顺利开展,对国家发展新型高效节能的sic功率半导体材料与器件技术、带动新能源高效转换与利用技术的产业转型和升级换代产生重要推动作用,未来将为芜湖市以至安徽省新能源汽车、航空、5g通信等新产业创新发展注入强劲动力。

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